膜厚测量仪

膜厚测量仪

参数
单位
指标
备注
光源中心波长
nm
840
波长范围
mm
>100
@3dB
横向分辨率
um
5
@840nm
轴向分辨率
um
4
校准后
最大成像深度
mm
3.7
空气中,受限于材料透明度
最大定位量程
mm
>50
空气中
成像速度
kHz
80
1-80kHz可调

特性

膜厚测量仪横向和轴向分辨率为5μm和4μm,可成像深度大于3.5mm,特征应用为测量半透明工业膜层的厚度,材料表面的缺陷检测。集成材料表面的定位功能和成像的实时显示功能,适用于生产线在线监测和反馈控制。

本膜厚测量仪可根据应用场景作相应定制,包括系统分辨率、可成像深度、成像速度等。

应用

膜厚测量
近表面缺陷检测
生产线在线监测和反馈控制