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参数
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单位
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最小值
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典型值
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最大值
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备注
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光源
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-
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-
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SLD λ=840nm
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-
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测量范围
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mm
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100
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-
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-
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根据需求可做到更大量程
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测量精度
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um
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-
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-
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0.1
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最小测量距离
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um
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10
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-
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-
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测量时间
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s
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-
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-
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0.5
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轴向分辨率
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um
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-
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-
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13
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光功率
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mw
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-
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-
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5
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根据需求可定制
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